北方华创申请加热电极制备方法及半导体工艺设备专利，解决相关技术中线宽的负载效应问题
创始人
2025-05-30 09:03:33
0次
金融界2025年5月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“加热电极制备方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120076706A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本申请提供一种加热电极制备方法及半导体工艺设备，该方法包括：刻蚀步，利用图形化掩膜结构，对形成于具有凹槽的绝缘介质层上的金属层进行图形化刻蚀；修整步，去除刻蚀副产物；循环执行刻蚀步和修整步，直至去除金属层未被图形化掩膜结构覆盖的部分，以形成加热电极；其中，凹槽具有在第一方向上相对的两个凹槽侧面，以及凹槽底面；加热电极包括沿第一方向和第二方向间隔排列的多个电极分体，每个电极分体至少叠置于凹槽侧面和凹槽底面；第一方向和第二方向均平行于凹槽底面，且相互垂直。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1052次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
亿纬动力取得电芯焊接结构及电池...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，惠州亿纬动力电池有限公司、湖北亿纬动力有限公...
洁美半导体取得可容纳更多芯片的...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，浙江洁美半导体材料有限公司取得一项名为“一种...
希景微机电取得可减少芯片晃动风...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，苏州希景微机电科技有限公司取得一项名为“治具...
长江存储申请存储器及存储器系统...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，长江存储科技有限责任公司申请一项名为“存储器...
L5973ADTR开关稳压器原...
描述 L5973AD 是一款降压单片电源开关稳压器，开关电流限制为 2A，因此能够根据应用条件向负载...
争丰半导体取得KGD分选机晶粒...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，争丰半导体科技（苏州）有限公司取得一项名为“...
威讯联合半导体取得编带热压设备...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，威讯联合半导体（德州）有限公司取得一项名为“...
杭州元芯半导体取得基于双向反激...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，杭州元芯半导体科技有限公司取得一项名为“基于...
宁波优璞半导体取得耐磨型晶圆清...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，宁波优璞半导体科技有限公司取得一项名为“一种...
展讯半导体取得数据传输方法及装...
金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，展讯半导体（南京）有限公司取得一项名为“数据...