云在上半导体等申请用于半导体加工的静电吸盘结构专利，保障了散热效果_电子百科

云在上半导体等申请用于半导体加工的静电吸盘结构专利，保障了散热效果

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2025-06-04 12:07:20

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金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市云在上半导体材料有限公司;湖南湘芯新材料有限公司申请一项名为“用于半导体加工的静电吸盘结构”的专利，公开号CN120089640A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明提供了用于半导体加工的静电吸盘结构，包括基座、吸附电极层以及陶瓷介电层，吸附电极层设置在基座和陶瓷介电层之间；还包括：挡圈，挡圈固定安装至陶瓷介电层的顶部边沿上；气室，气室设置在陶瓷介电层的内部，气室顶部连通设置有若干个出气孔，若干个出气孔均匀分布至陶瓷介电层顶面上，且若干个出气孔均配合连接有一个凸台，凸台延伸至陶瓷介电层的上方，凸台用于承载晶圆片；升降机构，升降机构与凸台连接。通过气室以及设置在陶瓷介电层上的若干个均匀分布的出气孔，晶圆在静电吸附后，通过进气管向气室内通入用于散热降温的气体，气体由气室分流至若干个出气孔，通过出气孔为晶圆底面直接提供吹风，保障了散热效果。

天眼查资料显示，深圳市云在上半导体材料有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市云在上半导体材料有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息1条，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可2个。

湖南湘芯新材料有限公司，成立于2024年，位于娄底市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9800万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南湘芯新材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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