北方华创申请气体控制阀和半导体工艺设备专利，解决晶圆表面所形成薄膜的均匀性较差问题
创始人
2025-06-07 12:04:39
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金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“气体控制阀和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120100911A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请公开一种气体控制阀和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的气体控制阀应用于半导体工艺设备，其包括阀体以及设置于所述阀体的阀板组件，所述阀板组件包括阀板和驱动机构，所述驱动机构与所述阀板相连，所述阀板为可折叠阀板，所述阀板包括至少两个子阀板，至少两个所述子阀板转动连接，所述驱动机构可驱动所述阀板相对于所述阀体转动，以及驱动转动连接的所述子阀板沿彼此靠近或彼此远离的方向相对转动。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1062次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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