南亚科技申请半导体结构的形成方法专利，达到良好的图案迁移效应
创始人
2025-06-08 01:05:40
0次
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利，公开号CN120109007A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供一种形成半导体结构的方法。此方法包括以下操作。形成第一硬遮罩叠层在介电层上，其中介电层包括阵列区域。蚀刻第一硬遮罩叠层以形成第二硬遮罩叠层与第一沟槽，第一沟槽沿着第一方向在阵列区域的上方且在第二硬遮罩叠层中延伸。形成第二沟槽在第二硬遮罩叠层中，第二沟槽沿着与第一方向不同的第二方向延伸，其中第一沟槽与第二沟槽相互交叉以形成相交处。蚀刻相交处的正下方的第二硬遮罩叠层与介电层以形成通孔。形成第一着陆垫在通孔中。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
每周股票复盘：南都电源（300...
截至2025年6月6日收盘，南都电源（300068）报收于14.55元，较上周的14.46元上涨0....
赛力斯取得电源管理模块相关专利...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，赛力斯汽车有限公司取得一项名为“一种电源管理模...
俄谈判代表团团长：乌方无限期推...
新华社莫斯科6月7日电（记者黄河）俄罗斯谈判代表团团长、俄总统助理梅金斯基7日在社交媒体发文说，俄方...
每周股票复盘：商络电子（300...
截至2025年6月6日收盘，商络电子（300975）报收于11.58元，较上周的12.3元下跌5.8...
南亚科技申请半导体结构的形成方...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“半导体结构的...
EDA断供风暴，国产芯片设计的...
01 EDA巨头先知冷 半导体领域的Adobe“全家桶”又被盯上了。 “端午节打开西门子网站就无法下...
湖北轻机智能科技申请高密度多层...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，湖北轻机智能科技有限公司申请一项名为“高密度多...
浙江欣旺达取得电路板封装结构相...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，浙江欣旺达电子有限公司取得一项名为“封装膜结构...
华升鑫电路取得一种印刷电路板烘...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市华升鑫电路有限公司取得一项名为“一种印刷...
TCL申请通信控制电路等相关专...
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，TCL家用电器（合肥）有限公司申请一项名为“通...