北方华创申请清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备专利，实现对承载舟进行高效清洗
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2025-06-09 11:37:14
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金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120109041A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，公开了一种清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备。半导体工艺设备包括工艺腔室，工艺腔室内放置有承载舟，承载舟包括内舟页和外舟页，承载舟具有正极端和负极端，清洗装置包括第一射频电流提供电路和第二射频电流提供电路，其中：第一射频电流提供电路分别与正极端和负极端连接，用于提供第一射频电流，以使内舟页之间能够产生等离体子体；第二射频电流提供电路分别与正极端和负极端连接，用于提供第二射频电流，以使外舟页和工艺腔室的腔室壁之间能够产生等离体子体，其中，第一射频电流的频率小于第二射频电流的频率。籍此，实现了对承载舟进行高效清洗。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1063次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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