北方华创申请清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备专利，实现对承载舟进行高效清洗
创始人
2025-06-09 11:37:14
0次
金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN120109041A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体技术领域，公开了一种清洗装置、清洗方法及半导体工艺设备。半导体工艺设备包括工艺腔室，工艺腔室内放置有承载舟，承载舟包括内舟页和外舟页，承载舟具有正极端和负极端，清洗装置包括第一射频电流提供电路和第二射频电流提供电路，其中：第一射频电流提供电路分别与正极端和负极端连接，用于提供第一射频电流，以使内舟页之间能够产生等离体子体；第二射频电流提供电路分别与正极端和负极端连接，用于提供第二射频电流，以使外舟页和工艺腔室的腔室壁之间能够产生等离体子体，其中，第一射频电流的频率小于第二射频电流的频率。籍此，实现了对承载舟进行高效清洗。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1063次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
英特尔申请电子设备中风扇引起的...
国家知识产权局信息显示，英特尔公司申请一项名为“电子设备中风扇引起的振动的减少”的专利，公开号CN1...
悦芯科技申请优化多wafer堆...
国家知识产权局信息显示，悦芯科技股份有限公司申请一项名为“一种通过优化多wafer堆叠的高带宽存储器...
存储芯片暴涨300%！3月换机...
根据 TrendForce 集邦咨询 2026 年 2 月的最新数据，近三个月内，手机存储芯片现货价...
【异动股】第四代半导体板块下挫...
【财华社讯】今日早盘，截至09:45，第四代半导体板块下挫。南大光电(300346.CN)跌4.86...
科大讯飞申请设备翻转摄像头角度...
国家知识产权局信息显示，科大讯飞股份有限公司申请一项名为“设备翻转摄像头的角度检测方法、装置、设备和...
电子气体概念反复活跃
金宏气体涨超14%，华特气体、中船特气、广钢气体、九丰能源、杭氧股份跟涨。 (本文来自第一财经)
天瀚科技申请可在嵌入式端实时运...
国家知识产权局信息显示，天瀚科技（吴江）有限公司申请一项名为“可在嵌入式端实时运行的2d双目深度计算...
欣锐科技：在服务器电源领域目前...
证券之星消息，欣锐科技(300745)03月16日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者：...
南芯科技发布集成式电流传感器S...
每经AI快讯，3月16日，据南芯科技公众号消息，南芯科技正式发布全系列集成式电流传感器 SCS81X...
中芯国际申请半导体结构及其形成...
国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（北京）有限公司和中芯国际集成电路制造（上海）有限公司申...