诺丽半导体申请晶圆预对准方法专利 显著提升预对准的速度和准确性
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2025-06-10 11:35:07
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金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市诺丽半导体技术有限公司申请一项名为“一种用于传输过程的晶圆预对准方法”的专利，公开号CN120127043A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请涉及晶圆预对准技术领域，其公开了一种用于传输过程的晶圆预对准方法，其通过控制线激光传感器扫描旋转平台上的晶圆边缘，获取晶圆边缘二维坐标点的连续数据集，并对其进行滤波和异常点剔除，生成离散数据集。基于最小二乘法对离散数据集进行圆拟合，精确计算晶圆圆心坐标；同时，利用傅里叶变换提取切边特征，并通过傅里叶逆变换确定切边角度。这样，显著提升了预对准的速度和准确性。该方法特别适用于半导体制造中的高精度要求场景，为后续加工步骤提供了可靠的定位基础。
天眼查资料显示，东莞市诺丽半导体技术有限公司，成立于2023年，位于东莞市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市诺丽半导体技术有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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