应用材料公司申请利用平台中的传感器进行载体头声波监测专利，基于声波信号产生载体头状态参数的值
创始人
2025-06-11 17:35:07
0次

金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“利用平台中的传感器进行载体头声波监测”的专利，公开号CN120129586A，申请日期为2023年08月。

专利摘要显示，一种化学机械抛光装置，所述装置具有：平台，用于支撑抛光垫，所述平台具有凹部；载体头，用于将基板的表面保持抵着所述抛光垫，并且包括固位环，所述固位环用于将所述基板固定在所述载体头下方；马达，用于在所述平台与所述载体头之间产生相对运动，以便对所述基板进行抛光；原位声波监测系统，包括布置在所述凹部中的声波传感器，所述声波传感器接收来自所述基板与所述抛光垫之间的摩擦和来自所述固位环与所述抛光垫之间的摩擦的声能；以及控制器，被配置为：基于从所述原位声波监测系统收到的声波信号，产生载体头状态参数的值，以及基于所述载体头状态参数，改变或抛光参数或产生警报。

来源：金融界

显示 进行 抛光 监测 平台 载体 声波 传感器 状态参数 应用材料 抛光垫 体头 载体头 基板

上一篇：传感器板块6月11日涨0.26%，万朗磁塑领涨，主力资金净流出3.17亿元

下一篇：观明文化科技取得基于电容按键的磁吸式旋钮专利，实现旋钮组件与电容按键组件可拆卸连接

相关内容

哈啰普惠申请嵌入式设备升级...
国家知识产权局信息显示，上海哈啰普惠科技有限公司、上海造父智能科技...
2026-06-03 10:24:18
博世汽车部件申请针对嵌入式...
国家知识产权局信息显示，博世汽车部件（苏州）有限公司申请一项名为“...
2026-06-03 10:23:50
时代电气招标结果：DC-D...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，株洲中车时代电气...
2026-06-03 10:23:16
全志科技(300458.S...
格隆汇6月1日丨全志科技(300458.SZ)在互动平台表示，公司...
2026-06-03 10:23:03
中山福昆航空科技申请多源冗...
国家知识产权局信息显示，中山福昆航空科技有限公司申请一项名为“一种...
2026-06-03 10:22:41
通嘉科技取得应用于电源转换...
国家知识产权局信息显示，通嘉科技股份有限公司取得一项名为“应用于电...
2026-06-03 10:22:24
厦门鑫众通电子取得基于人工...
国家知识产权局信息显示，厦门鑫众通电子有限公司取得一项名为“基于人...
2026-06-03 10:22:00
锐锋焰申请基于多电位域动态...
国家知识产权局信息显示，深圳锐锋焰科技有限公司申请一项名为“一种基...
2026-06-03 10:21:45
上海隧道工程申请大功率变频...
国家知识产权局信息显示，上海隧道工程有限公司申请一项名为“大功率变...
2026-06-03 10:21:31

热门资讯

厦门鑫众通电子取得基于人工智能... 国家知识产权局信息显示，厦门鑫众通电子有限公司取得一项名为“基于人工智能的储能电源管理系统、方法及装...
锐锋焰申请基于多电位域动态解耦... 国家知识产权局信息显示，深圳锐锋焰科技有限公司申请一项名为“一种基于多电位域动态解耦的可重构电池系统...
上海隧道工程申请大功率变频设备... 国家知识产权局信息显示，上海隧道工程有限公司申请一项名为“大功率变频设备配电箱及剩余电流保护装置”的...
山东科汇取得配电网单相接地故障... 国家知识产权局信息显示，山东科汇电力自动化股份有限公司取得一项名为“一种配电网单相接地故障的电压消弧...
光力科技：公司国内半导体业务目... 光力科技：公司国内半导体业务目前处于满产状态 人民财讯6月1日电，光力科技(300480)日前在机构...
泰德半导体取得载台二维码标记设... 国家知识产权局信息显示，深圳泰德半导体装备有限公司取得一项名为“载台二维码标记设备”的专利，授权公告...
上海光通信申请芯片测试限值处理... 国家知识产权局信息显示，上海光通信有限公司申请一项名为“芯片测试限值的处理方法与装置”的专利，公开号...
PCB概念板块短线拉升 PCB概念板块短线拉升， 圣泉集团涨停， 合锻智能、 龙旗科技、 中京电子此前封板， 宏昌电子、 澳...
苏州茗泰科技取得防误触绝缘防护... 国家知识产权局信息显示，苏州茗泰科技有限公司取得一项名为“一种防误触绝缘防护型配电开关控制结构”的专...
平高集团申请模块化LCL滤波器... 国家知识产权局信息显示，平高集团有限公司;西安平高智慧能源有限公司申请一项名为“一种模块化的LCL滤...