应用材料公司申请利用平台中的传感器进行载体头声波监测专利，基于声波信号产生载体头状态参数的值
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2025-06-11 17:35:07
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金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“利用平台中的传感器进行载体头声波监测”的专利，公开号CN120129586A，申请日期为2023年08月。

专利摘要显示，一种化学机械抛光装置，所述装置具有：平台，用于支撑抛光垫，所述平台具有凹部；载体头，用于将基板的表面保持抵着所述抛光垫，并且包括固位环，所述固位环用于将所述基板固定在所述载体头下方；马达，用于在所述平台与所述载体头之间产生相对运动，以便对所述基板进行抛光；原位声波监测系统，包括布置在所述凹部中的声波传感器，所述声波传感器接收来自所述基板与所述抛光垫之间的摩擦和来自所述固位环与所述抛光垫之间的摩擦的声能；以及控制器，被配置为：基于从所述原位声波监测系统收到的声波信号，产生载体头状态参数的值，以及基于所述载体头状态参数，改变或抛光参数或产生警报。

来源：金融界

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