大族半导体取得旋转载台及加工设备专利，降低设备成本
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2025-06-11 20:05:50
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金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“旋转载台及加工设备”的专利，授权公告号CN222966110U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本申请公开一种旋转载台及加工设备，旋转载台包括基座、调平机构、旋转机构和安装座，旋转机构包括设于基座上的旋转组件以及旋转驱动组件，旋转组件包括转动部，旋转驱动组件用于驱动所述转动部转动。安装座设于转动部上，用于安装工件。调平机构包括相互间隔的多个调平件，调平件用于支撑基座，调平件远离基座的端部与基座的距离可调节，以控制旋转载台整体的水平度。即使采用精度稍低的旋转机构，也可利用调平机构来补偿水平度上的偏差，以降低设备成本。
天眼查资料显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目203次，专利信息830条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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