北方华创申请半导体设备及其进气装置专利，解决进气装置出气均匀性较差的问题
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2025-06-13 09:41:20
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金融界2025年6月13日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体设备及其进气装置”的专利，公开号 CN120138792A，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本申请属于半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体设备及其进气装置。该进气装置包括进气柱和匀流件，进气柱内具有至少两个进气通道，匀流件包括至少两个进气腔，每一进气通道对应连通一个进气腔；各进气通道均包括第一进气子通道和第二进气子通道；第二进气子通道与第一进气子通道连通；第一进气子通道包括与进气柱的轴线相交的至少两个出气段，任意相邻两个出气段之间的夹角相同，且各出气段与进气柱的轴线的夹角相同；各出气段的第一端均与第二进气子通道的出气口连通，各出气段的第二端均与对应的进气腔连通。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1067次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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