上海至纯取得半导体研磨液供应设备专利自动切换管路确保不影响供液_电子百科

上海至纯取得半导体研磨液供应设备专利自动切换管路确保不影响供液

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2025-06-14 13:37:38

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金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海至纯系统集成有限公司取得一项名为“一种用于半导体研磨液的供应设备”的专利，授权公告号CN222971910U，申请日期为2024年07月。

专利摘要显示，本实用新型涉及化学机械研磨技术领域，公开了一种用于半导体研磨液的供应设备，包括主供液管，所述主供液管的一端设有U型的分供液管一，所述分供液管一一侧的横管设有气动阀一，所述分供液管一另一侧的横管设有气动阀二，所述分供液管一的两端设有U型的分供液管二，所述分供液管二的中部设有排液管，所述主供液管的表面设有冲洗管；本实用新型通过设置的U型的分供液管一和分供液管二实现双供液管路，并且配合气动阀一和气动阀二，能够自动切换管路确保不影响供液，在管路发生异常时不需要停机；并且通过设置的冲洗管配置添加洁净水再切换后自动清洗设计避免出现研磨液沉积结块问题。

天眼查资料显示，上海至纯系统集成有限公司，成立于2010年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯系统集成有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可25个。

来源：金融界

企业显示切换管路供应影响设备导体自动专利半导体研磨液液管主供气动阀供液

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