芯恩申请半导体设备及刻蚀方法专利，提高刻蚀方法的可靠性
创始人
2025-06-14 17:38:39
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金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“半导体设备及刻蚀方法”的专利，公开号CN120149248A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明提供了一种半导体设备及刻蚀方法，所述半导体设备包括设置于基座内的温度调节装置，所述温度调节装置包括温度调节器和支撑装置，所述温度调节器设置于所述支撑装置上并能够通过所述支撑装置而在所述基座内运动，所述温度调节器能够提升和/或降低所述基座的温度，通过所述温度调节装置能够实现局部温度的控制，能够提高利用所述半导体设备实现的刻蚀方法的可靠性。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目170次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息704条，此外企业还拥有行政许可55个。

来源：金融界

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