北方华创申请温度控制方法等专利，提升半导体工艺设备温度控制精确度
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2025-05-17 10:07:38
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金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“温度控制方法、装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119987460A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明提供了一种温度控制方法、装置及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，该温度控制方法用于对半导体设备中的目标温区进行温度控制，半导体设备包括用于对目标温区进行加热的加热装置，用于检测目标温区温度的温度传感器和用于对目标温区进行降温的降温装置；该温度控制方法包括：获取温度传感器所检测到的检测温度；根据检测温度与目标温区的设定温度的差值确定降温装置的目标降温输出值和加热装置的目标温度值；控制降温装置根据目标降温输出值对目标温区进行降温，以及控制加热装置根据目标温度值对目标温区进行加热。本发明能够实现对腔室中任意设定目标温区的温度的精确控制，提升了半导体工艺设备的温度控制的精确度。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1042次，财产线索方面有商标信息63条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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