浙江芯晟申请谐振式压力传感器及其制备方法专利，提高传感器的检测灵敏度、精度和可靠性_电子百科

浙江芯晟申请谐振式压力传感器及其制备方法专利，提高传感器的检测灵敏度、精度和可靠性

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2025-05-17 15:07:13

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金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，浙江芯晟半导体科技有限责任公司申请一项名为“一种谐振式压力传感器及其制备方法”的专利，公开号CN119984575A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明涉及MEMS微传感器技术领域，公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，谐振式压力传感器包括衬底层和谐振组件，衬底层包括支撑衬底和压力敏感膜；支撑衬底位于压力敏感膜的侧部；谐振组件包括平行设置的第一谐振梁和第二谐振梁，第一谐振梁两端通过第一锚区和第二锚区连接压力敏感膜，第二谐振梁两端通过第三锚区和第四锚区连接压力敏感膜；第一谐振梁和第二谐振梁通过质量块和弹簧耦合连接在一起；谐振组件还包括第一驱动电极单元和第二驱动电极单元；第一驱动电极单元位于第一谐振梁一侧；第二驱动电极单元位于第二谐振梁一侧。与相关技术相比，本发明可以提高传感器的检测灵敏度、精度和可靠性，提高Q值，增加传感器的量程。

天眼查资料显示，浙江芯晟半导体科技有限责任公司，成立于2023年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯晟半导体科技有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目166次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可7个。

来源：金融界

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