芯源微获得实用新型专利授权：“一种排风控制开关装置”
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2025-11-01 04:06:40
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种排风控制开关装置”，专利申请号为CN202422988002.8，授权日为2025年10月17日。
专利摘要：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种排风控制开关装置，包括排风管主体、活塞A、活塞B、直线驱动件、直线传动结构。排风管主体具有进风口及出风口，活塞A及活塞B分别位于排风管主体的内部。直线驱动件用于带动活塞A并调节活塞A在排风管主体中所在位置。直线传动结构用于带动活塞B并调节活塞B在排风管主体中所在位置。本实用新型在能够正常实现开闭排风的作用的基础上，还可实现调整活塞A与活塞B之间间隙大小的效果，也即能够改变气体通过的通风截面大小以及气体排出的出风量，可根据不同工艺情景任意调节，适用性更好，整体结构较为简单，加工制造容易，装配维护方便。
今年以来芯源微新获得专利授权46个，较去年同期增加了64.29%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。
通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目325次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息633条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可65个。
数据来源：天眼查APP
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