北方华创申请一种故障模式影响判定方法和半导体工艺设备专利，提高半导体设备的控制系统的故障模式影响判定结果的精准度_电子百科

北方华创申请一种故障模式影响判定方法和半导体工艺设备专利，提高半导体设备的控制系统的故障模式影响判定结果的精准度

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2025-05-22 09:33:47

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金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种故障模式影响判定方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120013306A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种故障模式影响判定方法和半导体工艺设备，包括：获取n个评价主体对半导体工艺设备的m个故障的a种评价因子评分，n、m和a都为大于1的整数，根据n个评价主体对m个故障的a种评价因子评分，确定各个评价主体对各个故障的评分权重和评价因子总评分，根据n个评价主体对各个故障的评分权重和评价因子总评分，确定各个故障的最终评分，根据m个故障的最终评分，获得故障模式影响判定结果，从而可以通过引入各个评价主体对各个故障的评分权重，在一定程度上减弱或消除评价主体的主观意识影响，进而可以提高半导体设备的控制系统的故障模式影响判定结果的精准度。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1044次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

来源：金融界

企业主体评价模式评分半导体华创影响故障专利因子

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