歌尔微电子申请MEMS芯片等相关专利提高MEMS芯片的可靠性_电子百科

歌尔微电子申请MEMS芯片等相关专利提高MEMS芯片的可靠性

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2025-05-23 13:08:50

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金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“MEMS芯片、麦克风和电子设备”的专利，公开号CN120034809A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS芯片、麦克风和电子设备，涉及声电转换设备技术领域，MEMS芯片包括基底、振膜、背板、绝缘连接层和牺牲层，基底具有进音口，振膜通过绝缘连接层与基底连接，背板通过牺牲层与振膜连接，背板和振膜之间形成有声腔；背板包括导电层和设置于导电层两侧的第一绝缘层和第二绝缘层，第二绝缘层靠近声腔设置，第二绝缘层包括本体部和凸起部，凸起部均位于声腔内，凸起部包括沿振膜的振动方向间隔设置的第一面、第二面以及连接第一面和第二面的侧围面，第一面与第一绝缘层连接，第二面的面积小于第一面的面积。减小了背板与振膜的接触面积，使得即使振膜与凸起部接触也能够更加容易分离，提高了MEMS芯片的可靠性。

天眼查资料显示，歌尔微电子股份有限公司，成立于2017年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61243.8891万人民币。通过天眼查大数据分析，歌尔微电子股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目126次，专利信息1687条，此外企业还拥有行政许可23个。

来源：金融界

企业显示振膜绝缘芯片电子设备微电子包括专利的可靠性背板绝缘层声腔

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