金融界2025年5月23日消息,国家知识产权局信息显示,北京华丞电子有限公司申请一项名为“射频电源的控制方法、装置、射频电源及半导体工艺设备”的专利,公开号CN120034177A,申请日期为2025年01月。
专利摘要显示,本申请提供一种射频电源的控制方法、装置、射频电源及半导体工艺设备,应用于半导体工艺设备技术领域,该方法应用于在每一个工作周期内提供至少一种脉冲信号的射频电源,在射频电源的每一个工作周期内的至少一种脉冲信号中,其中一种脉冲信号按照第一控制方式进行控制,该第一控制方式为:根据当前射频电源的前向功率反馈值、反射功率反馈值、耗散功率反馈值以及母线电压阈值调节输出至射频电源的母线电压,并维持输出至射频电源的偏置电压保持不变,相较于现有技术中根据电子元器件搭建的保护电路,本申请提供一种软件保护机制,执行过程不易受到环境温度、电磁干扰等因素的影响,保护机制更加可靠,能够保证射频电源运行过程中的安全性。
天眼查资料显示,北京华丞电子有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2090.584311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京华丞电子有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目124次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息210条,此外企业还拥有行政许可43个。
来源:金融界