艾庞半导体取得一种硅片清洗设备专利，对清洗过程中硅片起到保护作用
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2025-05-24 17:08:40
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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，艾庞半导体科技（四川）有限公司取得一项名为“一种硅片清洗设备”的专利，授权公告号CN222890263U，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种硅片清洗设备，属于硅片加工技术领域。包括支撑架和放置架，支撑架顶部设置有清洁槽，清洁槽内盛装有清洗液，清洁槽的侧壁上水平间隔设置有若干个超声波发生器，放置架由连接架和限位架组成，放置架内形成由若干个用于容纳硅片的放置槽，放置架上设置有用于驱使硅片转动的第一驱动件，支撑架上位于清洁槽的一侧设置有放置台。通过放置架可以将多片硅片均匀间隔地限位安装在放置架中，可有效避免硅片之间相互摩擦，并且在将放置架转动沉入清洁槽内后，可通过清洗液和超声波发生器对硅片的两面进行有效的清洁，具有对清洗过程中硅片起到保护作用的效果。
天眼查资料显示，艾庞半导体科技（四川）有限公司，成立于2023年，位于遂宁市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，艾庞半导体科技（四川）有限公司专利信息10条。
来源：金融界
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