盛红晔半导体申请用于等离子体处理的系统及方法专利，实现零总磁矩设计
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2025-05-24 20:04:25
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金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司申请一项名为“一种用于等离子体处理的系统及方法”的专利，公开号CN120033055A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于等离子体处理的系统及方法。系统包括基座、气体输送装置和全波长螺旋谐振装置；其中，全波长螺旋谐振装置包括n个反应腔、n个感应线圈和射频功率源，用于产生谐振并提供均匀的等离子体分布；其中，感应线圈位于反应腔中，与射频功率源电连接，n个反应腔顺次相连，n个感应线圈之间串联，感应线圈的电器长度之和为射频功率源所发出射频信号的整数倍波长，在反应腔内部形成三个感应环区。
天眼查资料显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛红晔半导体科技（上海）有限公司专利信息3条。
来源：金融界
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