盛红晔半导体申请用于等离子体处理的系统及方法专利，实现零总磁矩设计
创始人
2025-05-24 20:04:25
0次
金融界2025年5月24日消息，国家知识产权局信息显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司申请一项名为“一种用于等离子体处理的系统及方法”的专利，公开号CN120033055A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于等离子体处理的系统及方法。系统包括基座、气体输送装置和全波长螺旋谐振装置；其中，全波长螺旋谐振装置包括n个反应腔、n个感应线圈和射频功率源，用于产生谐振并提供均匀的等离子体分布；其中，感应线圈位于反应腔中，与射频功率源电连接，n个反应腔顺次相连，n个感应线圈之间串联，感应线圈的电器长度之和为射频功率源所发出射频信号的整数倍波长，在反应腔内部形成三个感应环区。
天眼查资料显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛红晔半导体科技（上海）有限公司专利信息3条。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
D-Matrix推出3D DR...
人工智能计算初创公司D-Matrix Corp.今日宣布，已开发出一种全新的3D动态随机存取内存技术...
高德红外：2025年上半年净利...
以8月25日收盘价计算，高德红外目前市盈率（TTM）约为-194.13倍，市净率（LF）约8.46倍...
UPS电源—UPS电源稳态测试...
UPS电源稳态测试是在空载、50％额定负载以及100％额定负载条件下，对输入、输出端的各相电压、线电...
ETF主力榜 | 半导体ETF...
2025年8月26日，半导体ETF（512480.SH）收跌1.13%，主力资金（单笔成交额100万...
龙腾光电：上半年亏损1.21亿...
人民财讯8月26日电，龙腾光电(688055)8月26日晚间披露2025年半年报，上半年实现营业收入...
我校赴苏州市委党校（行政学院）...
为巩固和发展与苏州市委党校（行政学院）长期友好合作关系，加强办学合作共建，8月25日上午，常务副校（...
遭丈夫殴打去世女子弟弟再发声：...
极目新闻记者 柳琛琛 8月26日下午，微博认证用户“想你的子珩”发布微博称：我是受害者家属弟弟，我们...
俄军官：欧洲有可能在三年内对俄...
俄军政治总局副局长阿劳迪诺夫25日接受了凤凰卫视记者的采访。他认为，俄乌和平谈判是政治解决两国安全的...
联创光电：上半年营收16.17...
【联创光电上半年业绩增长，激光与超导业务亮点多】8月26日晚，联创光电(600363)披露2025年...
重庆一高校要求新生自选宿舍，低...
8月25日，网友反映，重庆工程学院宿舍安排存在问题，最低档6人间3200元一年，最高档3人间5800...