应用材料申请用于处理腔室对准的夹具专利，传感器可在不同位置间移动
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2026-01-29 15:11:15
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于关于处理腔室对准的夹具以及相关装置、系统和方法”的专利，公开号CN121420680A，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，一种对准组件包括传感器和盖，所述盖包括第一窗口。所述对准组件还包括旋转接头，所述旋转接头耦接到所述盖。所述对准组件还包括夹具，所述夹具耦接到所述旋转接头并且可绕着所述旋转接头相对于所述盖枢转。所述夹具包括可延伸臂，所述可延伸臂可从缩回位置移动到延伸位置，在所述缩回位置，所述传感器设置在所述第一窗口之上的第一位置，在所述延伸位置，所述传感器设置在所述第一窗口之上的第二位置。所述对准组件还包括锁，所述锁被配置为选择性地将所述夹具枢转地锁定到所述盖并且还在缩回位置或所述延伸位置选择性地锁定所述可延伸臂。
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来源：市场资讯
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