细美事申请净化和测量半导体生产线污染物处理装置专利，可净化和测量半导体生产线中产生的粒子或化学气体
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2025-05-27 11:34:01
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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“污染物处理装置”的专利，公开号CN120037732A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，提供了一种净化和测量半导体生产线中产生的粒子或化学气体的污染物处理装置。该污染物处理装置包括：主体单元，包括不同的第一表面和第二表面；驱动单元，安装在主体单元中并被配置为在半导体生产线内进行行驶；位置传感器，安装在主体单元中并被配置为感测半导体生产线内的位置；净化单元，安装在主体单元中并被配置为穿透第一表面和第二表面，其中，净化单元包括：流动路径，设置在第一表面和第二表面之间；化学气体检测传感器，安装在流动路径中，以测量通过第一表面进入的化学气体；和控制器，从化学气体检测传感器接收化学气体的浓度，从位置传感器接收位置数据，并根据半导体生产线内的位置检查化学气体的浓度。
来源：金融界
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