上海矽睿科技申请MEMS传感器及其制备方法专利，提高键合可靠性
创始人
2025-05-27 13:04:42
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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，上海矽睿科技股份有限公司申请一项名为“MEMS传感器及其制备方法”的专利，公开号CN120039822A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本申请涉及一种MEMS传感器及其制备方法，该方法包括：提供电极层；电极层包括键合锚点和相对键合锚点高度较低的电容极板；将器件晶圆与键合锚点键合，对器件晶圆进行刻蚀，形成贯通至键合锚点的通槽；在通槽沉积形成连接器件晶圆与键合锚点的连接柱；对器件晶圆进行图案化刻蚀，生成可动结构，得到器件层；将器件晶圆背离电极层的一侧与盖层键合。可以提高键合可靠性，防止器件层脱落。
天眼查资料显示，上海矽睿科技股份有限公司，成立于2012年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本170000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海矽睿科技股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息236条，此外企业还拥有行政许可3个。
来源：金融界
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