北方华创申请射频电源匹配器及半导体工艺设备专利,实现不同功率下的电流检测切换
创始人
2026-03-06 16:17:53
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国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“射频电源匹配器及半导体工艺设备”的专利,公开号CN121618954A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种射频电源匹配器及半导体工艺设备,其中,所述射频电源匹配器包括:控制模块和检测模块;控制模块用于与射频电源连接,控制模块设有电流信号输入端口,检测模块设有第一电流检测器、第二电流检测器、第一开关和第二开关;第一电流检测器经第一开关与电流信号输入端口连接,第二电流检测器经第二开关与电流信号输入端口连接;控制模块用于,在射频电源的输出功率大于或等于第一预设值的情况下,控制第一开关开启,第二开关关闭;在射频电源的输出功率小于第一预设值的情况下,控制第一开关关闭,第二开关开启。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1391次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。

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来源:市场资讯

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