细美事等申请半导体工艺设备的电动机控制装置及方法专利，执行对电动机的无传感器控制
创始人
2025-05-27 14:36:47
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金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司;汉阳大学校产学协力团申请一项名为“半导体工艺设备的电动机控制装置以及方法”的专利，公开号CN120049767A，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体工艺设备的电动机控制装置以及方法，披露能够适用传动方式的信号处理手段来掌握与电动机的工作信号有关的误差部分并通过对误差部分的补偿而执行对电动机的无传感器控制的半导体工艺设备的电动机控制装置以及方法。半导体工艺设备的电动机控制方法包括：电动机工作反馈步骤，向电动机施加控制信号并反馈基于所述控制信号的所述电动机的工作信号来获取反馈工作信号；分量信号生成步骤，生成所述反馈工作信号的正序分量信号和负序分量信号；以及误差判断步骤，基于所述负序分量信号并对应于所述控制信号来判断所述反馈工作信号相对于所述电动机的正常工作信号的误差部分。

来源：金融界

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