赛镁科技申请半导体制程尾气高纯度氮气提纯回收装置专利，提高了氮气回收效率和纯度
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2026-03-07 09:05:55
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国家知识产权局信息显示，深圳赛镁科技有限公司申请一项名为“半导体制程尾气高纯度氮气提纯回收装置”的专利，公开号CN121606999A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及工业气体回收技术领域，尤其涉及半导体制程尾气高纯度氮气提纯回收装置。其技术方案包括防护舱、冷却水箱和具有两个储存罐的储存机构。防护舱内设有送风筒一和送风筒二，其中送风筒一通过管道连接压缩机，压缩机输出端与送风筒二相连。两个送风筒内壁均设置有循环冷却水管，通过冷却水输送管与冷却水箱连接。装置采用两个并联的预处理过滤箱，通过三通阀实现切换，确保连续运行。氮气选择性分离膜过滤机构内部设有导流机构，通过电动推杆、推动杆和导流板的协同作用实现气体均匀分布。本发明通过双预处理过滤箱设计实现了不间断运行，更换机构简化了维护流程，有效解决了现有技术中因设备维护导致的停机问题，提高了氮气回收效率和纯度。
天眼查资料显示，深圳赛镁科技有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事房屋建筑业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳赛镁科技有限公司参与招投标项目9次，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可15个。
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来源：市场资讯
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