截至2026年3月9日 11:19，科创半导体ETF（588170）下跌5.04%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌4.83%。

热门个股方面，和林微纳领跌7.99%，芯源微下跌7.21%，京仪装备下跌7.07%，拓荆科技下跌6.72%，华海诚科下跌6.26%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.56%，成交6.26亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手4.42%，成交1.11亿元。

规模方面，科创半导体ETF近1月规模增长6.07亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏近1周规模增长1440.82万元，实现显著增长。

份额方面，科创半导体ETF最新份额达50.85亿份，创成立以来新高，领先同类；半导体设备ETF华夏近1周份额增长8200.00万份，实现显著增长。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入1.34亿元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计“吸金”3.79亿元，日均净流入达7584.77万元；半导体设备ETF华夏近4天获得连续资金净流入，最高单日获得1.27亿元净流入，合计“吸金”1.57亿元，日均净流入达3922.47万元。

东吴证券认为，在AI算力需求爆发背景下，全球半导体设备市场规模持续创新高。先进逻辑端，FinFET向GAA/CFET演进，5nm及以下制程单位产能设备投资额显著提升，单万片/月产能投资额较28nm提升数倍；存储端，HBM带动DRAM高阶制程升级，3DNAND向400层以上堆叠演进，单万片产能投资额同步提升。中国大陆晶圆产能全球占比仍低于销售占比，逻辑与存储龙头资本开支维持高位，叠加两大存储厂商上市融资在即，扩产动能具备持续性，支撑前道设备景气度中长期上行。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

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