永鼎股份获得发明专利授权：“一种VCSEL芯片氧化孔道的精确控制方法”
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2026-03-18 09:47:47
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种VCSEL芯片氧化孔道的精确控制方法”，专利申请号为CN202511877770.9，授权日为2026年3月17日。
专利摘要：本发明公开了一种VCSEL芯片氧化孔道的精确控制方法，包括计算氧化过程中材料体积收缩导致的收缩应力分布，获得其在氧化孔道不同深度区域的分布参数；模拟收缩应力对氧化孔道形状和位置的影响，得到孔道的预测形变量和位置偏移量；以减小预测形变量和位置偏移量为目标，生成一组优化的氧化工艺参数；根据位置偏移量和收缩应力分布生成补偿后的氧化路径；采用优化的氧化工艺参数和补偿后的氧化路径执行氧化过程，并在氧化过程中实时监测反映应力状态的物理量，动态调整氧化工艺参数。本发明能够通过主动预测应力分布并进行前馈补偿，结合氧化过程的实时反馈调节，实现对孔道形状与位置的高精度、高稳定性控制。
今年以来永鼎股份新获得专利授权16个，较去年同期增加了128.57%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.13亿元，同比增3.08%。
通过天眼查大数据分析，江苏永鼎股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目293次；财产线索方面有商标信息1条，专利信息760条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可90个。
数据来源：天眼查APP
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