张江国家实验室申请光电探测器响应度测试装置专利，能够以较低的测试成本准确且快速地测试待测光电探测器的响应度
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2026-03-30 23:17:41
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国家知识产权局信息显示，张江国家实验室;上海集成电路研发中心有限公司申请一项名为“光电探测器的响应度测试装置、测试方法及晶圆”的专利，公开号CN121740405A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本公开提供一种光电探测器的响应度测试装置、测试方法及晶圆，能够以较低的测试成本准确且快速地测试待测光电探测器的响应度。响应度测试装置中，第一参考光电探测器和待测光电探测器分别连接到1×N分光器的不同输出端，光电流测试模块分别测试第一参考光电探测器和待测光电探测器的光电流，并将其输出到响应度计算模块，响应度计算模块基于第一参考光电探测器的参考响应度、1×N分光器的不同输出端的对应分光比例、及待测光电探测器与第一参考光电探测器的光电流的比值，计算待测光电探测器的响应度。
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来源：市场资讯
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