晶科能源申请硅片电阻率测试方法及装置专利，改善硅片电阻率测试失真问题_电子百科

晶科能源申请硅片电阻率测试方法及装置专利，改善硅片电阻率测试失真问题

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2026-03-31 13:13:37

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国家知识产权局信息显示，上饶晶科能源叁号智造有限公司;晶科能源（海宁）有限公司申请一项名为“硅片电阻率测试方法及装置”的专利，公开号CN121762931A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请涉及一种硅片电阻率测试方法及装置。所述方法包括：控制激光束对待测试硅片的表面区域进行加热，使所述待测试硅片的表面温度达到目标温度并在达到所述目标温度后持续加热预设时长，以使所述待测试硅片内形成的氧团簇分解为间隙氧；控制所述激光束离开所述待测试硅片的表面区域；在所述待测试硅片完成冷却的条件下，测量所述待测试硅片的电阻率。本方法通过激光对硅片进行快速加热至目标温度，致使氧团簇分解，停止加热后，热源瞬间消失，硅片不需要外力即可以实现快速冷却，避免在300‑500℃区间停留时间长，间隙氧再次聚集形成氧团簇，从而改善硅片电阻率测试失真问题，且可提高测试效率、工序简单，成本较低。

天眼查资料显示，上饶晶科能源叁号智造有限公司，成立于2023年，位于上饶市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，上饶晶科能源叁号智造有限公司参与招投标项目3次，专利信息37条，此外企业还拥有行政许可1个。

晶科能源（海宁）有限公司，成立于2017年，位于嘉兴市，是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本357000万人民币。通过天眼查大数据分析，晶科能源（海宁）有限公司参与招投标项目54次，专利信息973条，此外企业还拥有行政许可74个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业晶科能源投资上饶测试装置激光束电阻率硅片专利氧团簇

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