杭氧股份获得发明专利授权：“一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法”
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2025-07-12 03:11:36
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示杭氧股份（002430）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法”，专利申请号为CN202510330533.4，授权日为2025年7月11日。
专利摘要：本发明属于尾气处理技术领域，涉及一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法，通过采用吸附装置、膜分离组件以及气体提纯塔的复合装置系统，能够完成含毒、腐蚀、多种稀有气体混合工况的低浓度氦气回收和提纯操作，可以将回收后的氦气提纯至99.999%以上，回收率高、纯度高且充分利用前后气体换热，能耗较低，进一步拓宽了氦气供给来源；所述装置系统全程无气体排空，均回流、收集以及排放回尾气管道中，适用于半导体各种制程。
今年以来杭氧股份新获得专利授权20个，较去年同期增加了53.85%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.49亿元，同比减0.78%。
通过天眼查大数据分析，杭氧集团股份有限公司共对外投资了101家企业，参与招投标项目585次；财产线索方面有商标信息82条，专利信息465条，著作权信息14条；此外企业还拥有行政许可164个。
数据来源：天眼查APP
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