思锐半导体先进装备研发制造中心获专项激励补助资金
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2025-07-21 18:38:18
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近日，山东省发展改革委下达2025年度省新旧动能转换重大产业攻关项目激励补助资金计划，青岛市12个项目获得省级专项激励补助资金2430万元。其中，思锐半导体先进装备研发制造中心项目、海尔胶州冰箱智能制造（二期）项目因技术引领性强、建设进度良好均获得最高补助额度400万元。
今年6月思锐半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区正式落成并投入生产，该项目由思锐智能与青岛城投集团联合打造，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大关键半导体前道设备的研发与规模化生产。
资料显示，思锐智能主要聚焦半导体前道工艺设备的研发、生产和销售，旨在提供具有自主可控关键核心技术的系统装备产品和技术服务方案。其ALD和IMP设备广泛应用于集成电路、以功率与化合物为代表的第三代半导体、新能源、光学、生物医学等诸多高精尖领域。
另据媒体报道，思锐半导体先进装备研发制造中心项目研制的4.5MeV高能离子注入机打破国际垄断、填补国内空白；12英寸原子层沉积设备（ALD）获得全球头部企业重复订单，功率化合物半导体市场占有率全球领先。
（文/集邦化合物半导体整理）
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