鹏芯微申请半导体激光退火装置及加热部件设计方法专利,对半导体进行退火处理
创始人
2025-11-24 19:07:38
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国家知识产权局信息显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体激光退火装置及加热部件设计方法”的专利,公开号CN 120998801 A,申请日期为2024年05月。

专利摘要显示,本公开涉及一种半导体激光退火装置及加热部件设计方法,其中,半导体激光退火装置用于对半导体(101)进行退火处理,所述半导体(101)沿预设路径移动以在其表面形成扫描路径,所述半导体激光退火装置包括:加热部件(1),被配置为对所述半导体(101)的多个加热区域预先加热,多个所述加热区域沿所述扫描路径方向延伸;和第一激光器(2),被配置为发出激光以将第一光斑(10)所在的区域加热至第一预设温度,在所述半导体(101)的移动过程中,所述第一光斑(10)沿所述扫描路径移动以对所述半导体(101)进行扫描加热。

天眼查资料显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目19次,财产线索方面有商标信息50条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可215个。

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来源:市场资讯

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