瑞声科技申请一种电容式MEMS器件及其制造方法专利，实现了对器件内气压的平衡控制_电子技术

瑞声科技申请一种电容式MEMS器件及其制造方法专利，实现了对器件内气压的平衡控制

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2025-11-25 16:06:51

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国家知识产权局信息显示，瑞声声学科技（深圳）有限公司申请一项名为“一种电容式MEMS器件及其制造方法”的专利，公开号CN 121005368 A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明提供了一种电容式MEMS器件及其制造方法。本发明的电容式MEMS器件包括至少一个MEMS芯片，每一个MEMS芯片包括晶圆基底以及设于晶圆基底顶面的结构层，晶圆基底的内部开设有第一空腔结构，结构层覆盖第一空腔结构且包括固定于晶圆基底顶面的振膜和固定于晶圆基底且与振膜间隔形成电容的背极板，晶圆基底的底面开设有朝结构层方向凹陷的槽结构，槽结构部分贯穿晶圆基底设置，第一空腔结构沿第一方向贯穿槽结构的槽底和晶圆基底的顶面；槽结构与第一空腔结构共同形成空气流动通道，槽结构连通第一空腔结构和所述MEMS芯片外部。本发明所述电容式MEMS器件实现了对器件内气压的平衡控制，避免了空气压力对电容式MEMS器件的影响。

天眼查资料显示，瑞声声学科技（深圳）有限公司，成立于2004年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本14158万美元。通过天眼查大数据分析，瑞声声学科技（深圳）有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目60次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息1275条，此外企业还拥有行政许可90个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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