无锡展硕取得耐高温半导体晶圆静电吸盘专利，有效避免水分残留
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2026-05-31 21:22:22
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国家知识产权局信息显示，无锡展硕科技有限公司取得一项名为“一种耐高温半导体晶圆静电吸盘”的专利，授权公告号CN224306272U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本实用新型涉及应用于半导体制造领域的一种耐高温半导体晶圆静电吸盘，包括静电吸盘本体，静电吸盘本体外设有支撑框，支撑框与静电吸盘本体之间固定连接有多个安装板，支撑框的上端开凿有两个容置槽，容置槽内固定连接有导轨，导轨外安装有直线电机组件，直线电机组件的上端固定连接有滑块，滑块的上端固定连接有气缸，清理组件内设有多个可调节的定位块，擦拭布在对静电吸盘本体的表面进行擦拭时，可适应静电吸盘本体表面的凹凸位置，即使是凹槽的边沿刮擦湿巾导致水分残留，也可通过干巾的弹性调节对其进行擦拭，有效避免水分残留，显著减少凹槽内污染物残留风险，进而有效提高静电吸盘的吸附效果。
天眼查资料显示，无锡展硕科技有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡展硕科技有限公司参与招投标项目54次，专利信息51条，此外企业还拥有行政许可9个。
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来源：市场资讯
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