纳光电申请可调节Pt膜图形化薄膜电阻溅射制备系统专利，提高Pt膜的膜厚均匀性和电阻精度
创始人
2026-06-24 04:35:57
0次
国家知识产权局信息显示，纳光电（太原）研究院有限公司申请一项名为“一种可调节Pt膜图形化薄膜电阻的溅射制备系统”的专利，公开号CN122256890A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种可调节Pt膜图形化薄膜电阻的溅射制备系统，涉及薄膜电阻的溅射制备技术领域，包括匀速输送结构，匀速输送结构的顶部通过安装设置电阻放置孔模板，通过在动态溅射调控组件配合下，整体有效通过调控的动态磁场引导等离子体在基片表面均匀地轰击靶材，减少因等离子体不均匀导致的膜厚差异，提高Pt膜的膜厚均匀性和电阻精度，降低膜电阻阻值，保障电阻的精度和稳定性，以减少电路失效的问题，并在定点摆动组件配合下，有效避免了传统蚀刻工艺中的侧向侵蚀问题，确保电阻的可调节性，提高图形化的精度，同时在靶向定位自适应调温组件配合下，进一步优化该区域的温度环境，以稳定薄膜电阻的性能。
天眼查资料显示，纳光电（太原）研究院有限公司，成立于2021年，位于太原市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，纳光电（太原）研究院有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目1次，专利信息17条，此外企业还拥有行政许可1个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
下一篇：湘滨电子创业板IPO获受理
相关内容
热门资讯
南芯科技发布线性霍尔效应电流传...
人民财讯6月23日电，6月23日，南芯科技发布全新线性霍尔效应电流传感器芯片系列SCS910X，为基...
哪些因素会影响电力稳压器价格
产品核心参数对定价的影响 不同的稳压类产品定价首先取决于自身的核心参数，其中功率容量是最核心的影响要...
芯智华光子申请集成化光纤陀螺用...
国家知识产权局信息显示，合肥芯智华光子科技有限公司申请一项名为“一种集成化的光纤陀螺用Y波导调制器芯...
四强电子取得PCB测试夹具专利...
国家知识产权局信息显示，合肥四强电子科技有限公司取得一项名为“一种PCB测试夹具”的专利，授权公告号...
字节跳动取得神经网络后处理滤波...
国家知识产权局信息显示，字节跳动有限公司取得一项名为“神经网络后处理滤波器SEI消息的存在和相对解码...
德鑫机械申请角度传感器专利，具...
国家知识产权局信息显示，四川绵阳德鑫机械有限公司申请一项名为“一种角度传感器、转向系统及汽车”的专利...
公司的NPO电感产品何时量产？...
有投资者向 铭普光磁（002902.SZ）提问，公司的NPO电感产品什么时候量产 6月23日，公司回...
金莱勒电气取得挂接可调相式熔断...
国家知识产权局信息显示，浙江金莱勒电气股份有限公司取得一项名为“一种挂接可调相式熔断器式隔离开关”的...
容强电子取得电容芯包多工位快速...
国家知识产权局信息显示，安徽容强电子科技有限公司取得一项名为“一种电容芯包多工位快速定位装配夹具结构...
瑞丰光电：利润分配股权登记日为...
每经AI快讯，瑞丰光电（SZ 300241，收盘价：6.57元）6月23日晚间发布公告称，本次利润分...