7月21日下午,八亿时空高端半导体光刻胶树脂产线建成仪式在绍兴上虞举行。公司百吨级半导体KrF光刻胶树脂高自动化柔性/量产双产线顺利建成,并已经具备完善的工艺条件和相关配套措施,经过多次调试,产线各项指标均已达到投产标准。
上证报中国证券网讯(记者 李兴彩)7月21日下午,八亿时空高端半导体光刻胶树脂产线建成仪式在绍兴上虞举行。公司百吨级半导体KrF光刻胶树脂高自动化柔性/量产双产线顺利建成,并已经具备完善的工艺条件和相关配套措施,经过多次调试,产线各项指标均已达到投产标准。
根据介绍,两条产线整体设计产能达到百吨级,且均采用公司自主设计的先进自动化控制系统,能显著提升生产效率和产品良率,降低了人工操作误差,同时,满足高端材料生产对洁净度和工艺稳定性的严苛要求。未来,公司将依据市场情况逐步扩产能,投入建设更大规模的高端光刻胶树脂产线,计划未来五年具备年产200-300吨光刻胶树脂的生产能力。
对于建设半导体光刻胶树脂双产线,八亿时空董事长、总经理赵雷介绍,近年来,随着人工智能芯片、5G芯片等需求爆发,全球半导体市场需求增加,半导体光刻胶市场随之快速发展。针对本土面临的“研发缺料、量产断供”双重挑战,公司创新性规划了两条全自主设计的产线,以差异化定位覆盖产业全生命周期需求。
首先,高柔性研发中试线专为配合国内光刻胶厂商及科研机构“小量多品种”的研发迭代和中试验证需求而设计。该产线配置了精密反应与后处理系统,具备极高的生产柔性,能够快速切换不同配方和工艺,进行小批量、多批次的高品质树脂生产。该产线是加速国产光刻胶新品开发、缩短从实验室到产业化进程的“孵化器”和“加速器”。
其次,高产能量产线主要针对已通过验证、进入稳定量产阶段的光刻胶产品对树脂的规模化需求。该产线专注于效率与稳定性,配置了大型高效反应及精密制造系统,将实现生产流程的高度集成与自动化控制,确保产品批次间的高度一致性。该产线为国产高端光刻胶的规模化应用和市场份额提升,提供了强有力的材料保障。
资料显示,作为半导体光刻胶的核心原料,光刻胶树脂技术壁垒非常高,研发的难度主要在树脂材料的PDI(分散度)和纯度(金属杂质为ppt级别),市场基本被国外公司所垄断。
赵雷介绍,公司从确定光刻胶树脂方向,到目前产线顺利建成,半导体光刻胶树脂业务迅速推进的背后,是公司依据多年在化学合成、材料纯化、精益管理等方面的系统性优势及经验,自主培养了一支专业的光刻胶树脂研发团队。研发团队从0做起,经过不懈探索,在分子结构设计、合成工艺控制、纯化技术等关键环节实现系统性突破,成功开发出满足先进制程要求的高性能光刻胶树脂,性能参数达到国际先进水平。目前,公司已具备KrF光刻胶用树脂全系列的研发生产能力,并与多家头部光刻胶厂家合作,开发多款高性能树脂。
公司透露,随着产能逐步释放,公司预计2025年下半年光刻胶树脂会实现千万元级别的收入规模。未来,随着本土光刻胶市场占比提升以及公司向多家客户出货量的增加,项目达产后预计营收规模超亿元。