埃克斯控股申请半导体制造智能预测闭环控制相关专利，实现半导体制造过程的高精度预测
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2025-07-30 12:41:47
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金融界2025年7月30日消息，国家知识产权局信息显示，埃克斯控股（北京）有限公司申请一项名为“半导体制造智能预测闭环控制方法、系统以及可读存储介质”的专利，公开号CN120388907A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体制造智能预测闭环控制方法、系统以及可读存储介质，所述方法包括以下步骤：获取机台实时FDC数据，将所述FDC数据输入至预设的虚拟量测模型，输出得到在制品的第一Inline量测参数；将第三Inline量测参数输入至预设的Inline‑Wat预测模型，输出得到在制品的预测Wat值；当判断所述预测Wat值超出异常控制范围时，对所述制品当站制程及后站制程的Inline量测参数进行修正。
天眼查资料显示，埃克斯控股（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6225.3809万人民币。通过天眼查大数据分析，埃克斯控股（北京）有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可18个。
来源：金融界
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