浙江创芯取得半导体设备清洁组件相关专利 提升承载台清洁度
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2025-08-01 20:15:14
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金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“半导体设备的清洁组件及半导体设备”的专利，授权公告号CN223171481U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开实施例提供一种半导体设备的清洁组件及半导体设备，其中，半导体设备的清洁组件用于去除承载台上的异物，所述清洁组件包括：设置于所述承载台上方的清洁件；贯穿设置于所述清洁件内的第一通道，所述第一通道供溶解所述异物的溶液通过；其中，所述清洁件靠近所述承载台一侧具有位于所述第一通道下方的凹槽；当所述清洁件与所述承载台接触时，所述凹槽和所述承载台之间形成容置所述溶液和所述异物的容置腔。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本182000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目251次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息365条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
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