ASML申请具有减少的噪声电流的系统、方法以及装置专利，使噪声电流能够传送至AC电源而无需经过底盘
创始人
2025-08-02 20:39:34
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金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“具有减少的噪声电流的系统、方法以及装置”的专利，公开号CN120419088A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，系统和装置可以包括至少三个导体，该三个导体包括与底盘电隔离的第一导体，该第一导体被电连接到AC电源的节点，该AC电源的节点被电连接到地参考，并且该第一导体被配置为提供用于由EMI滤波器生成的噪声电流流向AC电源的路径，以使噪声电流能够传送至AC电源，而无需经过底盘。每个导体可以包括电感器，这些电感器被磁耦合，使得流过电感器的电流的和基本上为零。系统可以包括屏蔽线缆，该屏蔽线缆被电连接到腔，以提供用于噪声电流流动的低阻抗路径，其中在机械接口处，列装置被机械地耦合到腔并且与腔电隔离。
来源：金融界
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