嘉兴博瑞半导体取得化学气相沉积炉的导气座专利，提升座体的使用寿命
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2025-08-16 17:23:05
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金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，嘉兴博瑞半导体装备有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积炉的导气座”的专利，授权公告号CN223226168U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的导气座，属于沉积炉技术领域，旨在解决现有技术由于管路的走向不同，管路自身并不是水平排布，当处于转弯状态，会对导气座施加斜向的拉力，使得导气座被拉拽倾斜，长时间使用后，容易影响导气座与沉积炉的连接紧密性的问题。包括座体、固定架和支撑机构，座体的两端分别安装有炉体连接管、管道连接管，炉体连接管、管道连接管与座体连通；座体的外壁上固定有固定架，固定架呈U形结构，且半包围在座体的外侧，固定架上安装有支撑机构。该化学气相沉积炉的导气座，软管即使弯折排布，也可具有稳定的支撑力，支撑杆会与沉积炉的外壁紧密贴合来对拉力进行抵消，提升座体的使用寿命，减少损伤。
天眼查资料显示，嘉兴博瑞半导体装备有限公司，成立于2023年，位于嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，嘉兴博瑞半导体装备有限公司专利信息13条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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