华丞电子取得射频电源及半导体工艺设备专利，在高驻波腔室阻抗频繁变换条件下可以稳定输出功率
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2025-08-19 08:46:27
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金融界2025年8月19日消息，国家知识产权局信息显示，北京华丞电子有限公司取得一项名为“射频电源及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223246555U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型提供了射频电源及半导体工艺设备，射频电源包括：依次连接的驱动模块，功放模块和滤波模块；驱动模块用于输出驱动信号，功放模块用于在驱动信号的激励下，输出射频信号；滤波模块包括：第一滤波合成单元，其输入端与功放模块输出端连接，用于滤除射频信号中的干扰信号；第二滤波合成单元，其输入端与第一滤波合成单元输出端连接，用于对第一滤波合成单元输出的射频信号进行二次滤波；合成输出滤波单元，其输入端与第二滤波合成单元输出端连接，用于对所述第二滤波合成单元输出的射频功率进行补偿；通过本实用新型实施例可以在高驻波腔室阻抗频繁变换条件下可以稳定输出功率；从而可以保证刻蚀的均匀性及刻蚀效率。
天眼查资料显示，北京华丞电子有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2090.584311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华丞电子有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目121次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息212条，此外企业还拥有行政许可45个。
来源：金融界
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