南信大南通研究院等申请基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法专利，提高了传感器对氢气的灵敏度
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2025-08-19 15:41:36
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金融界2025年8月19日消息，国家知识产权局信息显示，南京信息工程大学南通研究院;江苏智农数联生态科技有限公司申请一项名为“基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法”的专利，公开号CN120507298A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明涉及光化学传感器技术领域内的一种基于自组装金属纳米腔结构的集成光波导氢气传感器及其制备方法，包括氢气传感单元和SOI光波导结构；氢气传感单元自下而上依次层设有基底层、导电层、绝缘层、氢敏金属层以及自组装金属纳米腔结构层，自组装金属纳米腔结构层为由多个金属纳米立方体通过自组装工艺排设于氢敏金属层表面，相邻金属纳米立方体之间设有间隙；SOI光波导结构蚀刻有安装氢气传感单元的容置槽，氢气传感单元连设于SOI光波导结构上。本发明提高了传感器对氢气的灵敏度，具有高灵敏度和良好的光信号传输效率，广泛适用于环境监测和工业安全等领域，为氢气检测提供了一种新型、高效的解决方案。
来源：金融界
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