■ 编者按

大众日报·大众新闻推出“走在前、挑大梁·产业链上的山东好品牌”专栏，派出记者深入各产业链上的骨干企业蹲点采访，展现山东加快全产业链布局、建链补链延链强链的典型成效，以及企业攻克关键技术、做大做强品牌的生动实践。敬请关注。

深耕靶材技术20余年，靶材纯度提至99.99999%，达到国际顶尖水平

有研亿金为芯片打造“神经脉络”

9月28日，有研亿金新材料（山东）有限公司（以下简称“有研亿金”）德州生产基地，经过熔炼、压加、焊接、机加工等一道道精密工序，一块块高端靶材逐渐成型。

这些看似普通的“金属块”，就是芯片的“神经脉络”，虽仅占芯片成本的3%—5%，却是“关键少数”。

有研亿金副总经理万小勇介绍，靶材作为芯片的导线与屏障材料，从纯度到镀膜均匀性，每一项标准都严苛到纳米级别。有研亿金深耕靶材技术20余年，从早期的4—6英寸小尺寸靶材，逐步攻克12英寸大尺寸靶材技术，如今已实现铜系靶、钴靶、钽靶、铝靶、钛靶等百余款产品全覆盖，纯度提至99.99999%，达到国际顶尖水平。金属杂质含量控制在0.1ppm以内，相当于每吨材料中杂质含量不超过0.1克。

“纳米级布线中，任何微小缺陷都可能导致芯片失效。”万小勇解释了靶材生产对精度的极致追求。为保障产品质量，企业引入自动化产线与定制化装备，对靶材生产全流程进行精密管控，严格控制材料产品缺陷，良品率超99%，产品质量满足全球尖端的3nm芯片需求。

原材料阶段，精准检测成分纯度与组织均匀性，从源头把控品质；半成品环节，通过专业检测手段核查焊合率、排查内部隐性缺陷，杜绝问题流转；成品阶段，对尺寸精度、外观平整度及包装完整性进行全方位检验。各环节均配套完整的操作规范与明确的检验标准，层层严苛把关。

有研亿金德州基地自动化生产车间。记者 贺莹莹 通讯员 刘振兴 报道

凭借过硬的产品质量与技术实力，有研亿金成为国内高端靶材领域的龙头企业，是数十家芯片厂的第一供应商，其生产的铜系列靶材国内市场占有率居于领先地位，为国产高端制程芯片的发展提供了坚实支撑。

“未来，我们将继续扎根德州，以技术创新为驱动，以产业链思维谋发展，为山东集成电路产业高质量发展注入更多‘靶材力量’。”有研亿金总经理滕海涛说，有研亿金将深度整合上下游资源，强化各环节的协同联动与价值衔接，通过构建完整的产业生态，提升资源利用效率，增强供应链稳定性，为保障产业链安全与高质量发展注入持久动力。

（大众新闻记者 贺莹莹 张海峰 通讯员 韩哲 宋钊铭）

■记者手记

志同道合的“双向奔赴”

有研亿金与德州志同道合的“双向奔赴”，为企业发展与区域产业升级实现双赢提供了生动范例。

从企业维度看，有研亿金的成功，在于对“专而精”的坚守。深耕靶材技术20余年，攻克12英寸大尺寸靶材技术难题，将产品纯度提至99.99999%的国际顶尖水平，撑起国产高端靶材“半壁江山”。

从地方维度看，德州集成电路产业的发展路径，也体现出“专而精”的智慧。面对产业基础薄弱的现实，当地没有贪大求全，而是吸引“有研系”七大项目落地，逐步在硅材料、靶材等关键领域形成集群优势，实现了从空白地到国内第一方阵的跨越。