中证报中证网讯（王珞）10月29日晚间，微导纳米（688147.SH）披露2025年第三季度报告。报告显示，微导纳米前三季度实现营业收入17.22亿元，同比增长11.48%；归母净利润2.48亿元，同比大幅增长64.83%。利润总额2.62亿元，同比增长77.85%。

这份成绩单的背后，标志着微导纳米作为国内首家将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路前道生产线的国产设备厂商，在ALD（原子层沉积）和CVD（化学气相沉积）领域技术积累的集中爆发。

半导体新增订单实现翻倍 半导体板块增长强劲

当前，微导纳米的半导体业务已进入从技术突破迈向规模化订单增长的关键阶段，多项业务指标显示，该业务正成为驱动公司业绩增长的重要引擎。

报告显示，2025年前三季度，公司半导体领域新增订单约14.83亿元，同比实现近一倍增长，呈现出强劲的发展态势。从客户结构来看，新增订单主要来源于NAND和DRAM领域的头部客户，反映出公司在关键半导体存储市场的认可度持续提升。

公司净利润率亦实现显著提升，前三季度净利润率同比增加4.67个百分点至14.43%，进一步验证了业务规模化带来的盈利优化效应。

在产品方面，iTomic®HiK系列、iTomic®MeT系列ALD设备和iTronix®MTP系列CVD设备持续获得量产批量订单，实现多家产业链重要客户导入。iTomic®PE系列ALD设备自首台通过客户验收后，市场认可度持续提升，陆续取得多家产业链重要客户订单。

技术布局方面，微导纳米成效显著。目前，公司ALD设备已覆盖行业主流薄膜材料与工艺需求；CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域取得产业化突破，相关产品已进入存储芯片、逻辑芯片、先进封装等领域。2025年上半年，公司正式推出适用于大规模量产需求的iTomic®Spatix系列及四站架构腔体的高产能ALD、CVD设备，也成为国内少数具备研发和生产空间型ALD设备能力的厂商之一，进一步夯实了技术领先优势。

在全球半导体产业持续升级的浪潮中，微导纳米凭借在ALD/CVD技术领域的深厚积累，正迎来前所未有的发展机遇。根据SEMI预测，全球半导体设备市场将于2025年创下1255亿美元的历史新高，并有望在2026年增至1381亿美元，行业前景广阔。

面对这一趋势，微导纳米已形成以核心技术为支撑的全域业务布局。在存储芯片领域，公司多款设备已实现规模量产，其核心工艺对推动3D DRAM/3D NAND的研发与产业化形成关键支撑，随着3D结构层数持续增加及客户产能扩张，该业务有望实现确定性高增长；在逻辑芯片领域，多款设备通过验证并达到国际先进水平，成为国产替代的中坚力量；在先进封装领域，公司凭借独特技术优势切入新兴市场，相关设备已进入客户端验证阶段，有望在先进封装领域率先突破，赢得增量市场。

多维布局夯实根基 战略投入拓展成长空间

为匹配业务的快速扩张并把握未来市场机遇，微导纳米近期持续推进一系列关键战略举措，从资本、研发到市场进行多维度布局，为公司中长期高质量发展奠定坚实基础。

2025年8月，公司公告拟向不特定对象发行可转债募集资金不超过11.7亿元，主要用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目及补充流动资金。其中，智能化工厂建设项目总投资6.7亿元，达产后预计每年可新增销售收入约15.65亿元。该项目的实施将有力保障公司快速增长的在手订单得到及时、高效的交付。

在加强产能布局的同时，微导纳米进一步完善长效激励机制，2025年9月，公司推出新一轮股权激励计划，将核心技术人员、业务骨干的个人利益与公司战略目标深度绑定。此举不仅有助于在行业人才竞争加剧的背景下稳定核心团队，更能充分激发组织创新活力，为研发持续高投入提供坚实的人才基础。

微导纳米2025年三季度的业绩表现，充分证明了其半导体战略布局正逐步进入收获期。公司不仅在国产化浪潮中占据了有利身位，更通过持续的高强度研发投入，在逻辑、存储、先进封装等关键领域实现了技术突破与批量订单，为未来增长夯实了基础。

随着智能化工厂建设项目与研发实验室的推进，微导纳米产能与技术转化能力将同步提升，有望进一步抓住全球半导体设备市场扩张与AI驱动的产业机遇，其发展路径清晰印证了以技术创新驱动的高端装备企业，在中国半导体产业链自主可控进程中的核心价值与广阔前景。