敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS传感器及电子设备”_行业新闻

敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS传感器及电子设备”

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2025-11-05 15:05:51

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS传感器及电子设备”，专利申请号为CN202511196946.4，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：本申请涉及一种MEMS传感器及电子设备，其中MEMS传感器包括开设有背腔的基底和第一检测单元。第一检测单元包括依次层叠设置的第一绝缘膜、第一电极层、第二绝缘膜以及第一支撑柱。第一电极层上间隔开设第一镂空槽；第一支撑柱穿过对应的第一镂空槽，且两端分别与第一电极层两侧的绝缘膜连接；其中，各第一支撑柱的两端之间设有第一电极部，第一电极部的侧壁与对应的第一镂空槽的内壁之间具有间距，并共同构成了检测电容。本申请将机械灵敏度与电学灵敏度解耦，在第一电极层开设多个第一镂空槽，并与对应第一支撑柱形成检测电容阵列并联/差分输出，抑制了大挠度和复杂载荷下高阶畸变，实现宽动态范围内高灵敏度、高线性及长期可靠性。

今年以来敏芯股份新获得专利授权40个，较去年同期减少了14.89%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3863.03万元，同比减1.52%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息514条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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