苏州创衍机械申请基于机器视觉的半导体清洗喷头控制专利，提升清洗精准度与自动化水平_行业新闻

苏州创衍机械申请基于机器视觉的半导体清洗喷头控制专利，提升清洗精准度与自动化水平

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2026-01-01 09:37:51

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国家知识产权局信息显示，苏州创衍机械科技有限公司申请一项名为“一种基于机器视觉的半导体清洗喷头控制方法、控制装置和设备”的专利，公开号CN121235980A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本申请实施例提供一种基于机器视觉的半导体清洗喷头控制方法、控制装置和设备，该方法包括：S1：采集半导体表面图像，对所述半导体表面图像进行图像增强操作，制作数据集；S2：利用所述数据集训练改进MobileViTv3模型，获取检测模型，改进措施包括：在所述MobileViTv3模型输入端之前增加高光抑制模块、在所述MobileViTv3模型的Transformer层集成动态稀疏注意力机制、在所述MobileViTv3模型的输出端连接多频解耦头；S3：实时采集所述半导体图像并输入所述改进MobileViTv3模型，获取检测结果；S4：根据所述检测结果，生成喷头运动轨迹与清洗指令。该方法针对半导体表面高反射干扰、微小缺陷漏检难题，运用高光抑制、动态稀疏注意力及多频解耦头，提升清洗精准度与自动化水平，支撑集成电路规模化生产。

天眼查资料显示，苏州创衍机械科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州创衍机械科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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