唯实先端智能申请半导体晶圆氮气Stocker的氮气控制系统及方法专利，提高氮气输送监测准确性
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2025-07-13 00:10:19
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金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，唯实先端智能科技（苏州）有限公司申请一项名为“半导体晶圆氮气Stocker的氮气控制系统及方法”的专利，公开号CN120300036A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明涉及气体置换技术领域，尤其半导体晶圆氮气Stocker的氮气控制方法，其技术方案包括：将氮气从技术夹层的上方传入，再通过排气过滤器传入STK库体，然后进行净化内循环，在此过程中，通过喷嘴设备、手动阀、气动阀、电磁阀将氮气进行输送，温湿度控制计对温度与湿度进行调节，在氮气输送的过程中，根据管道内不同位置的气压构建B样条曲线模型，以此判断氮气输送是否正常，在对氮气输送情况进行监测的过程中，考虑到管道内壁的粗糙度和管道的输送角度以及通气方式对气压造成的损失，从而通过B样条曲线模型表示氮气在管道输送过程中的气压变化规律，以差值曲线作为评估氮气输送情况的指标，不仅提高了氮气输送监测的准确性，还提高了评估的便捷性。
天眼查资料显示，唯实先端智能科技（苏州）有限公司，成立于2019年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，唯实先端智能科技（苏州）有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息64条，此外企业还拥有行政许可5个。
来源：金融界
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