北方华创申请承载装置及半导体工艺腔室专利,能够减小晶圆表面边缘周向上的工艺气体的流速差异
创始人
2025-07-15 10:12:19
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金融界2025年7月15日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置及半导体工艺腔室”的专利,公开号CN120319698A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明提供一种承载装置及半导体工艺腔室,承载装置用于设置在半导体工艺腔室的腔室本体内,承载装置包括承载部和支撑部,承载部用于承载待加工件,支撑部设置在承载部的底部,用于与腔室本体连接;支撑部中设置有排气通道,排气通道具有出气口和多个进气口,出气口位于支撑部的底壁,多个进气口位于支撑部的周壁,并在支撑部的周向上均匀间隔设置。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1091次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。

来源:金融界

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