北方华创申请承载装置及半导体工艺腔室专利，能够减小晶圆表面边缘周向上的工艺气体的流速差异
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2025-07-15 10:12:19
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金融界2025年7月15日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN120319698A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供一种承载装置及半导体工艺腔室，承载装置用于设置在半导体工艺腔室的腔室本体内，承载装置包括承载部和支撑部，承载部用于承载待加工件，支撑部设置在承载部的底部，用于与腔室本体连接；支撑部中设置有排气通道，排气通道具有出气口和多个进气口，出气口位于支撑部的底壁，多个进气口位于支撑部的周壁，并在支撑部的周向上均匀间隔设置。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1091次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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