江苏芯港半导体申请蓝宝石基增强型HEMT外延片的制备方法专利，方便制作
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2025-07-19 17:09:01
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金融界2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯港半导体有限公司申请一项名为“蓝宝石基增强型HEMT外延片的制备方法”的专利，公开号CN120343941A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明涉及蓝宝石基增强型HEMT外延片的制备方法，具体包括以下步骤：在蓝宝石衬底上制备氮化物外延结构，对氮化物外延结构的P型氮化物层进行蚀刻，形成一级P型氮化物栅极层、二级P型氮化物栅极层；在氮化物外延结构的表面沉积压应力介质层，压应力介质层覆盖耗尽区域与耗尽区域；去除覆盖耗尽区域的压应力介质层和张应力介质层；在氮化物外延结构的表面沉积张应力介质层；在耗尽区域制备一级源极金属、一级漏极金属，形成蓝宝石基增强型HEMT外延片。
天眼查资料显示，江苏芯港半导体有限公司，成立于2020年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏芯港半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可18个。
来源：金融界
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