北方华创申请一种工艺数据监控方法和半导体工艺设备专利，输出提示信息
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2025-07-22 15:38:56
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金融界2025年7月22日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种工艺数据监控方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN120353194A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种工艺数据监控方法，该方法包括：采集每个工艺步骤中的第一实时工艺数据，第一实时工艺数据包括：目标参数在多个第一时间点的实时参数值；将第一实时工艺数据，分别输入至每个工艺步骤对应的高斯分量模型，得到多个概率值；高斯分量模型是根据历史工艺数据训练得到的，将多个概率值中的最大值对应的高斯分量模型，确定为目标高斯分量模型；将第一实时工艺数据输入至目标高斯分量模型，得到工艺数据区间；在第二实时工艺数据不在工艺数据区间内的情况下，输出提示信息。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1094次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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